





为满足纳米级电子束---系统的要求,系统设计了一个纳米图形发生器和数模转换电路,并采用机控制。机通过图形发生器和数模转换电路去驱动等仪器的扫描线圈,从而使电子束偏转并控制束闸的通断。通过可以对标准样片进行图像采集以及扫描场的校正。配合精密定位的工件台,还可以实现---场的拼接和套刻。利用配套软件也可以新建或导入多种通用格式的---图形。
曝照所需电子束是由既有的产生的电子束(离子束)提供。
电子射出后,受数千乃至数万伏特之加速电压驱动沿显微镜中轴向下移动,并受中轴周围磁透镜作用形成---电子束而对样本表面进行扫描与图案刻画。扫描方式可分为循序扫描与矢量扫描。
扫描过程中,电子束的开启与阻断是由电子束阻断器所控制。电子束阻断器通常安装在磁透镜组上方,其功效为产生一大偏转磁场使电子束完全偏离中轴而无法到达样本。
(三) 阻剂(光阻)
阻剂是转移电子束曝照图案的媒介。阻剂通常是以薄膜形式均匀覆盖于基材表面。高能电子束的照射会改变阻剂材料的特性,再经过显---,曝照(负阻剂)或未曝照(正阻剂)的区域将会留在基材表面,lg9704560494大运轻卡液位传感器批发价,显出所设计的微影图案,而后续的制程将可进一步将此图案转移到阻剂以下的基材中。

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湿度传感器原理:
湿度传器湿敏元件主要电阻式、电容式两类。
湿敏电阻:基片上覆盖一层用感湿材料制成的膜,当空气中的水蒸气吸附在感湿膜上时,元件的电阻率和电阻值都发生变化,利用这一特性即可测量湿度。
湿敏电容:用高分子薄膜电容制成的,咸阳lg9704560494大运轻卡液位传感器,常用的高分子材料有聚、聚酰、酪酸---纤维等。当环境湿度发生改变时,湿敏电容的介电常数发生变化,使其电容量也发生变化,其电容变化量与相对湿度成正比。

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